X射线荧光光谱仪采用的技术实际上是一个表面分析方法，激发只发生在试样的浅表面，必须注意分析面相对于整个样品是否有代表性。此外，样品的平均粒度和粒度分布是否有变化，样品中是否存在不均匀的多孔状态等。样品制备过程由于经过多步骤操作，还必须防止样品的损失和沾污。
X射线荧光光谱仪具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。能分析B(5)~U(92)之间所有元素。样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。无标半定量方法可以对各种形状样品定性分析，并能给出半定量结果，结果准确度对某些样品可以接近定量水平，分析时间短。薄膜分析软件FP-MULT1能作镀层分析，薄膜分析。测量样品的最大尺寸要求为直径51mm，高40mm。
X射线荧光光谱仪分为波长色散、能量色散、非色散X荧光、全反射X荧光。
X射线荧光光谱采用晶体或人工拟晶体根据Bragg定律将不同能量的谱线分开，然后进行测量。波长色散X射线荧光光谱一般采用X射线管作激发源，可分为顺序式(或称单道式或扫描式)、同时式(或称多道式)谱仪、和顺序式与同时式相结合的谱仪三种类型。顺序式通过扫描方法逐个测量元素，因此测量速度通常比同时式慢，适用于科研及多用途的工作。同时式则适用于相对固定组成，对测量速度要求高和批量试样分析, 顺序式与同时式相结合的谱仪结合了两者的优点。
X射线荧光光谱仪不仅适配寻找矿场和对矿场进行检测，还能够用于环境的监测和修复。作为典型的环境监测和修复过程中的一个环节，该仪器可以对仍在使用或已经关闭的工业地产附近的土壤、沉积物、灰尘、尾矿中的元素进行快速识别，检测是否有危害环境和人类身体健康的危险元素。X射线荧光光谱仪作为一种快速可靠的分拣工具，可以提供易于归档的环境监测的量化记录。
