X射线荧光光谱仪目前已在地质、冶金、材料、环境等无机分析领域得到了广泛的应用，是各种无机材料中主组分分析重要的技术手段之一，各种与X射线荧光光谱相关的分析技术，如同步辐射XRF、全反射XRF光谱技术等，在痕量和超痕量分析中发挥着重要的作用。
目前X射线荧光光谱仪定量方法一般采用基本参数法。该办法是在考虑各元素之间的吸收和增强效应的基础上，用标样或纯物质计算出元素荧光X射线理论强度，并测其荧光X射线的强度。将实测强度与理论强度比较，求出该元素的灵敏度系数，测未知样品时，先测定试样的荧光X射线强度，根据实测强度和灵敏度系数设定初始浓度值，再由该浓度值计算理论强度。
X射线荧光光谱仪五大特点：
1、设计理念先进：采用能量色散光谱分析方法，选用50W功率的X射线光管直接激发样品产生X射线荧光，德国进口高精度SDD探测器和多道分析器接收X荧光信号，获得样品中各元素的计数强度并绘出光谱图，根据各元素特征能量及其强度进行定性和定量分析。并采用样品旋转技术增加样品测试面积，提高结果重复性和准确度。*摆脱了以往化学方法进行元素分析的繁琐操作过程。
2、应用范围广泛：可分析粉末、颗粒、溶液、溶胶、固体等多种类型的样品中元素含量，如测定煤中磷，煤灰成分分析（氧化钠、氧化镁、三氧化二铝、二氧化硅、五氧化二磷、三氧化硫、氧化钾、氧化钙、三氧化二铁等）。
3、分析元素范围宽：可分析元素范围从钠（Na）～铀（U），元素含量从ppm～100%。
4、安全性高：符合相关规定要求，产品质量好，安全性能高，并获得国家环境生态部的豁免许可。
5、使用成本低：X射线荧光光谱仪采用真空测量模式不需消耗任何气体和化学试剂，用户后期使用成本极低。
X射线荧光光谱仪在定性分析时，可以靠计算机自动识别谱线，给出定性结果。但是如果元素含量过低或存在元素间的谱线干扰时，仍需人工鉴别。首先识别出X射线管靶材的特征X射线和强峰的伴随线，然后根据2θ角标注剩斜谱线。在分析未知谱线时，要同时考虑到样品的来源，性质等因素，以便综合判断。
