X射线荧光光谱仪已广泛应用于材料、冶金、地质、生物医学、环境监测、天体物理、文物考古、刑事侦察、工业生产等诸多领域，是一种快速、无损、多元素同时测定的分析技术。采用固定通道，减少测量时间；固定通道尤其适用于荧光产额较低的轻元素和微量元素的测定，以提高分析精度和灵敏度。X荧光光谱仪采用操作方便，用户习惯的智能化软件，提供全自动分析操作，实现快速定性、定量分析和半定量分析。
X射线荧光光谱仪可分为具有高分辨率的光谱仪，分辨率较低的便携式光谱仪，和介于两者之间的台式光谱仪。高分辨率光谱仪通常采用液氮冷却的半导体探测器，如Si（Li）和高纯锗探测器等。低分辨便携式光谱仪常常采用正比计数器或闪烁计数器为探测器，它们不需要液氮冷却。近年来，采用电致冷的半导体探测器，高分辨率谱仪已不用液氮冷却。同步辐射光激发X射线荧光光谱、质子激发X射线荧光光谱、放射性同位素激发X射线荧光光谱、全反射X射线荧光光谱、微区X射线荧光光谱等较多采用的是能量色散方式。
X射线荧光光谱仪优点：
1、分析时间短。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。
2、适用范围广。X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。（气体密封在容器内也可分析）但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在X射线范围内，这种效应更好。波长变化用于化学位的测定 。
3、非破坏分析，重现性好。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。
4、X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。
5、分析精密度高。
6、制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。
