X射线荧光光谱仪具有测量速度快，准确度高的特点。能分析F（9）～U（92）之间所有元素。样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。无标半定量方法可以对各种形状样品定性分析，并能给出半定量结果，结果准确度对某些样品可以接近定量水平，分析时间短。
X射线荧光光谱仪可分为具有高分辨率的光谱仪，分辨率较低的便携式光谱仪，和介于两者之间的台式光谱仪。高分辨率光谱仪通常采用液氮冷却的半导体探测器，如Si（Li）和高纯锗探测器等。低分辨便携式光谱仪常常采用正比计数器或闪烁计数器为探测器，它们不需要液氮冷却。近年来，采用电致冷的半导体探测器，高分辨率谱仪已不用液氮冷却。同步辐射光激发X射线荧光光谱、质子激发X射线荧光光谱、放射性同位素激发X射线荧光光谱、全反射X射线荧光光谱、微区X射线荧光光谱等较多采用的是能量色散方式。
X射线荧光光谱仪的特点：
1、X射线荧光光谱仪具有优异的测量结果：
X射线荧光光谱仪于利用高达4千瓦的电源对样品进行励磁，确保每种元素都可以达到大的强度。由于X射线阳极管、样品表面与X射线探测器之间的紧密耦合，它们之间的距离达到小化，并且可能获得蕞高的计数率。此外，每种重要元素都可以由单独的通道进行测量。这些先进的功能促成了好的计数统计和优异的结果。
2、金属生产过程控制中的准确度和精密度：
在短时间内得出结果、实现好的准确度和*的精密度，是成功过程控制的主要需求。X射线荧光光谱仪将其已经验证的单元素通道与新的多元素通道?融合到自己的设计之中。借助4千瓦高励磁电源和元素通道，X射线荧光光谱仪能够为金属生产中的必需元素提供*精密度，同时其创新的多元素通道可以同步分析其他元素指纹，所有这些都将在40秒内完成。相比传统的同步XRF光谱仪，这一优势可以为钢铁和有色金属生产的过程控制带来必要的益处。
