手持x射线荧光光谱仪具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。它能分析F(9)～U(92)之间所有元素。样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃材质等行业样品。无标半定量方法可以对各种形状样品定性分析，并能给出半定量结果，结果准确度对某些样品可以接近定量水平，分析时间短。
用X射线照射试样时，试样可以被激发出各种波长的荧光X射线，需要把混合的X射线按波长分开，分别测量不同波长的X射线的强度，以进行定性和定量分析，为此使用的仪器叫X射线荧光光谱仪。确保无放射性，多种可选择的滤波器。可即时传送、读数，其主要部件是一根微小的X射线管和高分辩率探测器。从而确保分析检测质量，测试时间可在20秒内完成。由于X光具有一定波长，同时又有一定能量，因此，手持x射线荧光光谱仪有两种基本类型：波长色散型和能量色散型。
手持x射线荧光光谱仪的一般测试步骤是：选择分析方法，样品制备，仪器参数选择与校准曲线的制作，试样分析。分析仪的主操作控制软件控制光谱仪的运行和定性定量分析数据的处理。SuperQ先汇编各测量参数，再依次巡查光学电学条件、校正系数，后自动汇编建成定性或定量分析测量程序。
以全程扫描为定性分析的基础，用13个合成（解释:由几个部分合并成一个整体)的参考样品建立扫描程序获得的测量强度，以此作为定量分析的依据；适用于分析范围很宽的固体、粉末和液体试样的快速无标样近似定量分析。
