X射线荧光光谱仪可以测量元素周期表中铍以后的每一种元素，在实际应用中，有效的元素测量范围为9号元素到92号元素，浓度范围从100%至亚ppm级。仪器具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。
X射线荧光光谱仪主要由以下几部分组成：激发系统，主要部件为X射线管，可以发出原级X射线（一次X射线），用于照射样品激发荧光X射线；分光系统，对来自样品待测元素发出的特征荧光X射线进行分辨（主要为分光晶体）；探测系统，对样品待测元素的特征荧光X射线进行强度探测；仪器控制和数据处理系统，处理探测器信号，给出分析结果。
在测定微量成分时，由于X射线管的连续X射线所产生的散射线会产生较大的背景，致使目标峰的观测比较困难。为了降低或消除背景和特征谱线等的散射X射线对高灵敏度分析的影响，此仪器配置了4种可自动切换的滤光片，有效地降低了背景和散射X射线的干扰，调整出醉具感度的辐射，进一步提高了S/N的比值，从而可以进行更高灵敏度的微量分析。当某些元素的电子由高等级向低等级越迁时释放的能量相近，会使此时谱图的波峰重叠在一起，由此产生了重叠峰。其软件自动剥离重叠峰，确保了元素分析的正确性。
X射线荧光光谱仪的测试步骤：
（1）选择分析方法与制样方法。分析方法一般有基本参数法、半基本参数法、经验系数法等，制样方法一般有抛光法、压片法、滤纸片法和熔片法，常用粉末压片法制样，采用基本参数法测试。
（2）将制备好的样片装进样品杯，放入样品交换器中，自动进样至样品室，X射线管发出原级X射线照射样品，激发出待测元素的荧光X射线。
（3）样品辐射出的荧光X射线通过分光晶体，将X射线荧光光谱色散成孤立的单色分析线，由探测器测量各谱线的强度，根据选用的分析方法换算成元素浓度，得到样品中待测元素含量。
