荧光光谱仪又称荧光分光光度计，是一种定性、定量分析的仪器。通过荧光光谱的测试可以获得物质的激发光谱、发射光谱、荧光寿命以及液体样品浓度等方面的信息。光谱仪的组成在硬件上相似的，其差别主要在于硬件材质、仪器精密程度以及部分次要功能上的不同。此外，不同荧光光谱仪所使用的软件在界面和功能上存在较大的差别。荧光光谱仪的重要的部件包括光源、激发单色器、发射单色器、光电倍增光（PMT）以及外联设备电脑等。
日本理学X射线荧光光谱仪特点
1、仪器结构简单，省略了晶体的精密运动装置。还避免了晶体衍射所造成的强度损失。光源使用的X射线管功率低，一般在100W以下，不需要昂贵的高压发生器和冷却系统，空气冷却即可，节省电力。
2、能量色散形荧光光仪的光源、样品、检测器彼此靠得很近，X射线的利用率很高，不需光学聚集，在累积整个光谱时，对样品位置变化不象波长色散型荧光光仪那样敏感，对样品形状也无特殊要求。
3、在能量色散谱仪中，样品发出的全部特征X射线光子同时进入检测器，这就奠定了使用多道分析器和荧光屏同时累积和显示全部能谱(包括背景)的基础，也能清楚地表明背景和干扰线。因此，半导体检测器X射线光谱仪能比晶体X射线光谱仪快而方便地完成定性分析工作。
4、能量色散法的一个附带优点是测量整个分析线脉冲高度分布的积分程度，而不是峰顶强度。因此，减小了化学状态引起的分析线波长的漂移影响。由于同时累积还减小了仪器的漂移影响，提高净计数的统计精度，可迅速而方便地用各种方法处理光谱。同时累积观察和测量所有元素，而不是按特定谱线分析特定元素。因此，减小了偶然错误判断某元素的可能性。 
