X射线荧光光谱仪产生于50年代，由于可以对复杂体系进行多组分同时测定，受到观注，特别在地质部门，先后配置了这种仪器，分析速度显著提高，起了重要作用。
X射线荧光光谱仪就是由x射线光管发生的一次x射线激发样品，试样可以被激发出各种波长的特征x射线荧光，需要把混合的x射线按波长（或能量）分开，分别测量不同波长（或能量）的x射线的强度，以进行定性和定量分析的方法。
X射线荧光光谱仪
X射线荧光光谱仪的使用安全规则：
1、安装和维护须由受培过训的人来实施。
2、安全设施不能由未受培训的人员来处理。
3、用户须做到：按当地的安全规则来处理和操作系统。
4、所有的X-ray分析系统须定期用合适的仪器检查。
5、一旦设备处于不安全状态，须切断电源，并在设备上张贴“不得使用”字样。
6、操作人员须佩带个人剂量牌。
7、所有操作人员知道安全的必要性。
8、校正、调整、维修和更换X射线管须由受过培训的人员来实施。
X射线荧光光谱仪是用晶体分光而后由探测器接收经过衍射的特征X射线信号。如果分光晶体和控测器作同步运动，不断地改变衍射角，便可获得样品内各种元素所产生的特征X射线的波长及各个波长X射线的强度，可以据此进行定性和定量分析。
