X射线荧光光谱仪是一种较新型可以对多元素进行快速同时测定的仪器。就分类而言，偏振式能量色散X荧光光谱仪ED(P)-XRF、波长色散型(WD-XRF)X射线荧光光谱仪与能量色散型(ED-XRF)X射线荧光光谱仪同属于X射线荧光光谱仪，它们产生信号的方法相同，最后得到的波谱或能谱也极为相似，但由于色散、采集数据的方式不同，三种仪器在原理、仪器结构和功能上也有所不同。
X射线荧光光谱仪主要由激发源（X射线管）和探测系统构成。其原理就是：X射线管通过产生入射X射线（一次X射线），来激发被测样品。 受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线（又叫X荧光），并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量或者波长。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。
X射线荧光光谱仪分析的四个优势：
（1）荧光分析的主要特点是灵敏度高、选择性好，荧光分析的灵敏度要比吸收光谱测量高2-3个数量级。分光光度法通常在 10-7 级，而荧光的灵敏度达10-9。
（2）强选择性强，荧光物质具有两种特征光谱：激发光谱和吸收光谱，相对于分光光度法单一的吸收光谱来说，荧光光谱可根据激发光谱和发射光谱来鉴定物质。
（3）信息量丰富，能提供荧光物质的多种参数。
（4）但是荧光分析方法也有其不足之处：①很多物质本身不发荧光；②荧光的产生与化合物结构的关系不明确；③干扰因素多，光分解、氧淬灭、易污染。
