X射线荧光光谱仪采用荧光光谱分析技术，在地质、冶金、材料、环境等无机分析领域得到了广泛的使用。与X射线荧光光谱相关的分析技术，如同步辐射XRF、全反射XRF光谱技术等，在痕量和超痕量分析中发挥着重要的作用。
X射线荧光光谱仪性能优势明显，集合了多年ROHS检测经验，对六种有害元素尤其是Br、Cl等卤素进行了优化，模块化的功能设计理念便于应对指令进行、检测元素内容的升级。全光路射线防护系统配合三重安全防护设计，同时采用软硬件双重安全连锁，确保辐射安全性能。
X射线荧光光谱仪有波长色散法和能量色散法两种类型，波长色散X射线荧光光谱仪还可进一步分为顺序型（扫描型）、多元素同时分析型（多道）谱仪和固定道与顺序型相结合的谱仪三大类。三者适用范围各有千秋，顺序型适用于科研及多用途工作，多道谱仪则适用于相对固定组成和批量试样分析，固定道与顺序式相结合则结合了两者的优点。
能量色散X射线荧光光谱仪的基本运作为：来自试样的X射线荧光依次被半导体检测器检测得到一系列幅度与光子能量呈正比的脉冲，经放大器放大后送到多道脉冲幅度分析器上。按脉冲幅度的大小分别统计脉冲数，脉冲幅度可以用光子的能量来标度从而得到强度随光子能量分布的曲线，即能谱图。
与波长色散法相比，能量色散法X射线荧光光谱仪的主要优点是：
1、由于不需要晶体及测角仪系统，检测器的位置可以紧接样品位置，接收幅度的立体角增大，检测灵敏度可提高2~3个数量级。
2、不存在高次衍射谱线的干扰，可以一次同时测定样品中几乎所有的元素，分析物件不受限制。
3、能量色散X射线荧光光谱仪已发展成系列仪器，有便携式或在线型、台式和通用的高性能谱仪等三种类型。类型区分主要以谱仪分辨率为基准。
4、仪器操作简便，分析速度快，适合现场分析。
5、结构紧凑，安装、使用和维修均很方便。特别是以封闭式正比计数管为探测器的谱仪，其价格便宜、重量轻、可靠，能在恶劣环境下工作，因此广泛用作现场或在线式谱仪。
