X射线荧光光谱仪是根据X射线荧光光谱的分析方法配置的多通道光谱仪，仪器能够分析固体或粉状样品中各种元素的成分含量。它主要由激发源(X射线管)和探测系统构成。其原理是X射线管通过产生入射X射线(一次X射线)，来激发被测样品。 受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线(又叫X荧光)，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量或者波长。
X射线荧光光谱仪具有以下优点：
1、分析速度高。测定用的时间与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。
2、非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。
3、X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。
4、分析精密度高。
5、制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。
6、X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。大多数分析元素均可用其进行分析，可分析固体、粉末、熔珠、液体等样品，分析范围为Be到U。（气体密封在容器内也可分析）但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定。
