X射线荧光光谱仪目前已在地质、冶金、材料、环境等无机分析领域得到了广泛的应用，是各种无机材料中主组分分析重要的技术手段之一，各种与X射线荧光光谱相关的分析技术，如同步辐射XRF、全反射XRF光谱技术等，在痕量和超痕量分析中发挥着重要的作用。
X射线荧光光谱仪工作原理是X射线光管发出的初级X射线照射样品，样品中原子的内层电子被激发，当外层电子跃迁时产生特征X射线，通过分析样品中不同元素产生的特征荧光X射线波长（或能量）和强度，可以获得样品中的元素组成与含量信息，达到定性定量分析的目的。
X射线是一种波长较短的电磁辐射，通常是指能量范围在0.1~100 keV的光子。X射线与物质的相互作用主要有荧光、吸收和散射三种。
根据X射线荧光的产生原理，X射线荧光光谱仪在结构上主要由激发源、色散系统、探测系统等3部分组成。按照色散方式的不同，X射线荧光光谱仪可以分为2类：波长色散型X射线荧光光谱仪（WDXRF）和能量色散型X射线荧光光谱仪（EDXRF）。下面来看看仪器结构以及各结构作用。
X射线荧光光谱仪结构和作用：
1、X射线光管发射的原级X射线入射至样品，激发样品中各元素的特征谱线
2、分光晶体将不同波长λ的X射线分开
3、探测器记录经分光的特定波长的X射线光子N
4、根据特定波长X射线光子N的强度，计算出与该波长对应的元素的浓度
