X射线荧光光谱法是元素分析的主要手段之一，在元素分析中具有制样简单、无损、快速、不破坏样品、可以多元素同时分析等优点。
X射线荧光光谱仪就是这样一种分析仪器，目前市场上使用比较多的两种型号是能量色散型和波长色散型的X射线荧光光谱仪。但这种传统的仪器有时候灵敏度不够高，无法满足微量或痕量应用领域的检测需求，因此这制约了它的发展。
近年来，X射线荧光光谱技术飞跃发展，在多项核心技术取得突破，一种高灵敏度的X射线荧光光谱仪应运而生，它也可以称为单波长激发-能量色散X射线荧光光谱仪，采用微焦斑X射线管，依靠全聚焦型双曲面弯晶将X射线管出射谱中靶材高强特征射线单色化取出并聚焦到被测样品点，由于单色化入射，避免了由于X射线管出射谱中连续轫致辐射造成的背景干扰，从而大幅提升被测元素荧光射线的信噪比，同时采用高分辨率硅漂移探测器窗口接近样品测试点，取得样品中元素荧光射线的极大立体角，进一步提升元素荧光入射到探测器的射线强度。
高灵敏度X射线荧光光谱仪原理：
X射线光管出射谱由靶材的特征X射线分立谱以及轫致辐射连续谱组成，这些射线入射到样品中，激发样品中元素特征X射线的同时，又会产生入射谱的康普顿散射和瑞利散射，探测器同样会接收到这些散射背景，从而造成了连续背景信号的干扰，降低了元素检测的峰背比，使样品中微量或痕量元素难以被检出。
X射线管出射谱由连续谱线和特征谱线组成，全聚焦型双曲面弯晶仅衍射X射线光管出射谱中的高强度特征X射线，从而入射到样品的X射线具有很好的单色性，因此从样品出射的X射线除了样品中的元素被激发产生的荧光X射线（线光谱）和单色入射线的瑞利散射和康普顿散射以外，不存在连续散射背景，从而保证待测元素特征线具有极低的背景干扰，被激发元素的荧光X射线用SDD（硅漂移探测器）检测，得到高分辨和高灵敏度的测试结果。
高灵敏度X射线荧光光谱仪具备传统光谱仪无损、快速、多元素同时分析等特点，同时又具备高灵敏度的特点，其将X射线荧光的应用领域不断延伸，除了传统X射线应用领域外，新的领域成为高灵敏度X射线荧光光谱仪的市场，具有广阔的市场前景。
