X射线荧光光谱仪具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。无标半定量方法可以对各种形状样品定性分析，并能给出半定量结果，结果准确度对某些样品可以接近定量水平，分析时间短。
X射线荧光光谱仪的功能：
XRF是基于X射线的一种分析技术，当一束高能粒子与原子相互作用时，如果其能量大于或等于原子某一轨道电子的结合能，将该轨道电子逐出，形成一个空穴使原子处于激发态，由于激发态不稳定，外层电子向空穴跃迁使原子恢复到平衡态，跃迁时释放出的能量以辐射的形式放出便产生X荧光。
X荧光具有特征的波长，对应的即是特征的能量，通过对光子的特征波长进行辨识，XRF能实现对元素的定性分析，通过探测特征波长的X射线光子的强度，实现元素的定量和半定量分析。
X射线荧光光谱仪分类：
X射线荧光光谱仪可分为具有高分辨率的光谱仪，分辨率较低的便携式光谱仪，和介于两者之间的台式光谱仪。高分辨率光谱仪通常采用液氮冷却的半导体探测器，如Si（Li）和高纯锗探测器等。低分辨便携式光谱仪常常采用正比计数器或闪烁计数器为探测器，它们不需要液氮冷却。近年来，采用电致冷的半导体探测器，高分辨率谱仪已不用液氮冷却。同步辐射光激发X射线荧光光谱、质子激发X射线荧光光谱、放射性同位素激发X射线荧光光谱、全反射X射线荧光光谱、微区X射线荧光光谱等较多采用的是能量色散方式。
X射线荧光光谱仪的结构：
1、分光系统：对来自样品待测元素发出的特征荧光X射线进行分辨（主要为分光晶体）；
2、激发系统：主要部件为X射线管，可以发出原级X射线（一次X射线），用于照射样品激发荧光X射线；
3、仪器控制和数据处理系统：处理探测器信号，给出分析结果；
4、探测系统：对样品待测元素的特征荧光X射线进行强度探测。
